浏阳高新区碳基产业链再添总投资2亿元新成员

　　长沙晚报掌上长沙11月2日讯（全媒体记者 李广军 通讯员 周媖）“欢迎加入浏阳高新区‘大家庭’，预祝企业入园后生意红红火火！”11月1日下午，浏阳高新区碳基材料产业链再添新成员，安徽高芯众科半导体有限公司半导体清洗、涂层、零部件制造再生项目签约落户，项目总投资2亿元，预计产值4亿元。

　　安徽高芯众科半导体有限公司是国内少有的精密清洗、特殊涂层、零部件制造再生服务供应商，主要客户为三星、海力士、中芯国际、京东方等芯片和液晶面板巨头。

　　该项目主要应用于半导体制造设备的反应腔室的精密清洗、特殊涂层、零部件制造再生。反应腔室是集成电路和液晶面板制造设备的主体部分，芯片和液晶的生产过程中，反应腔室内会产生一定的污染物，直接影响到产品良率。目前，反应腔室的精密清洗、特殊涂层、零部件再生已成为芯片和液晶面板行业最基础的配套产业，也是半导体产业国产化的重要标志之一。

　　碳基材料是新材料科学研究和开发的前沿，是国家战略性新兴产业。2017年，长沙市委、市政府将碳基材料产业链确立为长沙22个工业新兴及优势产业链之一，并将长沙市碳基材料产业链推进办公室设在浏阳高新区。

　　目前，园区既聚集了碳化硅衬底材料、碳化硅芯片和器件等核心项目，又引入了热处理装备、精密合金靶材等配套产业项目，打造了碳基新一代半导体设备零部件和材料国产化平台。